År 1858 designade en fransk läkare, Sales-Girons den första inhalatorn av gummi med ventiler för att släppa in luft och den nebuliserade medicinen. Senare 1864 använde Arthur Sansom en enhet med eter istället för ånga. Till slut, 1874, uppfann en fransk läkare, Charlse Pravaz den första inhalatorn med uppmätta doser.
